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氦质谱检漏仪常用检漏方法详解

2020.07.20

氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用合理的方法,要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各种检漏方法。

一、测定漏点型

确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中较为常见,如卫星、导弹弹体、弹头、输气管道、气罐、油罐、锅炉等。

1、喷氦法

这是常用的一种方法,一般用于检测体积相对较小的部件,将被检器件和仪器连通,在抽好真空后,在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头,焊缝等) 用喷枪喷氦,如果被检器件某处有漏孔,当氦喷到漏孔上时,氦气立即会被吸入到真空系统,从而扩散到质谱室中,氦质谱检漏仪的输出就会立即有响应,使用这种方法应注意:氦气是较轻的惰性气体,在喷出后会自动上升,为了准确的在漏孔位置喷氦,喷氦时应自上而下,由近至远(相对检漏仪位置) ,这是因为在喷下方时氦气有可能被上方漏孔吸入,就很难确定漏孔的位置;再者漏孔离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同,所以喷氦应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远来进行。

2、吸氦法

吸氦法主要用于检查某些大型密封容器。如导弹弹体、弹头、气罐、油罐等,先将容器抽真空,再给容器充入氦气(为了节省用氦量,可以用低浓度氦气) ,在氦质谱检漏仪系统中的进气法兰处接上橡皮管,橡皮管的前端有直径很小的毛细管,使毛细管在充了氦的被检容器外壁的焊缝和密封接头等处移动,如果该容器有漏隙,经漏隙渗出的氦会被毛细管吸入,检漏仪就会响应。

二、测定漏率型

测定漏率型主要是针对密封性要求严格的部件进行检测,如宇宙飞船、火箭液体燃料储料箱、卫星、电子元器件等。这种方法只能测试试件的漏率,无法确定漏孔的位置和漏孔的个数。

1、充氦法

充氦法也称负压法 ,一个密闭的气室连接真空泵和氦气罐,将被检零件装入一个气室,开始关闭氦气罐阀门,机械泵把气室先抽成真空,然后关闭真空泵阀门,打开氦气罐阀门给气室充氦,并静置一段时间。被氦气包围的小器件上如果有漏隙,氦气就慢慢充入小器件内部。然后将气室打开,取出被检器件,用压缩空气吹掉其外表面可能吸附的氦。

再把这些器件逐个(或成组) 地装入接在检漏仪进气法兰处的容器中,把此容器抽空后打开节流阀,这时原先的进入被检器件的氦又会经过漏孔放出来,检漏仪就会给出漏率响应。

2、钟罩法

氦质谱检漏仪与试件用真空橡皮管连接,在试件上用密闭的容器罩住,在容器里充入氦气,检漏仪开始检漏,如果试件有漏点,仪器就可以显示其漏率;这种方法可以测量导弹液体储料罐的漏率,在罐体外罩氦罩采用塑料薄膜,对罐体进行粗抽和预抽,在用标准漏孔校对检漏仪,对氦罩进行充氦,就可以测出罐体的漏率。

氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,用这种技术检漏效率高,简便易操作,仪器反映灵敏,精度高,不易受其它气体的干扰,以上列举的方法是检漏技术领域里经常用道的方法,包括了从小件检漏到大件检漏,从确定漏孔检漏到确定漏率检漏,比较全方面的列举了各种检漏方法,相信在工程实际应用中有很好的参考价值。